영어 한국어 중국어
반도체 설비에 준하는
TEST SYSTEM 구성
SEMI 규정에 준하는
Gas Supply System
SEMI 규정에 준하는
Gas Supply System
SERVICE
   CONTACT US
Technical Data
진공칼럼
  • 진공의 단위들 file

    그림 . E.토리첼리(1608~1647) 그림 . B.파스칼(1623~1662) 진공(vacuum)은 대기압보다 낮은 압력 상태를 의미한다. 진공의 단위로 사용되는 mmHg, Torr, mbar, Pa, psi에 대해 알아본다. 1. 대기압(大氣壓): 공기의 무게 때문에 생기는 지구 대기의 압력. 1643년 이탈리아 과학자...

  • 제59회 한국진공학회 하계 정기 학... file

    20여년전 한국진공학회에서 개최하는 정기학술대회에 2~3번 참석하였다. 나는 그 당시 정부출연연구소에서 반도체 공정용 진공펌프 성능평가를 담당하고 있었기 때문에 그 주제로 포스터 발표를 하곤 하였다. 여름과 겨울 휴가철에 공기 좋은 곳에서 열리는 정기학술대회에는 학술...